第一節(jié) 產(chǎn)品技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

國(guó)外目前在碳化硅超細(xì)粉體技術(shù) 研究 上已具備較高水平，正朝著大型化、高效、節(jié)能等方向發(fā)展，多種類型的粉碎和分級(jí)設(shè)備已大量投入使用，能夠生產(chǎn)多種粒徑、級(jí)別的超細(xì)產(chǎn)品，并能較好的保護(hù)晶體結(jié)構(gòu)。

我國(guó)對(duì)碳化硅粉體深加工裝備的技術(shù)研制起步較晚，與國(guó)內(nèi)、國(guó)際市場(chǎng)的需求相差甚遠(yuǎn)。由于一些低檔次的產(chǎn)品已逐漸失去市場(chǎng)，碳化硅超細(xì)粉的需求量也迅速擴(kuò)大，對(duì)碳化硅超細(xì)粉制造工藝設(shè)備的要求也變的日益迫切了。經(jīng)過(guò)多年的 研究 及試驗(yàn)，我國(guó)很多碳化硅廠制粉設(shè)備多次技術(shù)改造成功。目前在碳化硅的破碎、提純和二次分級(jí)中將機(jī)械粉碎工藝與氣流分級(jí)工藝二者有機(jī)結(jié)合，對(duì)碳化硅微粉進(jìn)行有效的分級(jí)，產(chǎn)品分級(jí)細(xì)，種類多，產(chǎn)品質(zhì)量容易控制，產(chǎn)品可以根據(jù)需要用于各種用途；成品中顆粒形狀為片狀和針狀的產(chǎn)品可達(dá)到60％以上，其銳角鋒利，特別適用于硅晶圓的切割。

雖然在氣流粉碎機(jī)的使用過(guò)程中積累了不少實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，并且通過(guò)不斷的技術(shù)改造，使工藝裝備和技術(shù)水平都有了相當(dāng)程度的提高，但是目前我國(guó)所生產(chǎn)的碳化硅超細(xì)產(chǎn)品品種還較少，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足超細(xì)粉體市場(chǎng)的飛速發(fā)展。

第二節(jié) 產(chǎn)品工藝特點(diǎn)或流程

1、工藝設(shè)備

機(jī)械粉碎方式是碳化硅超細(xì)粉制造的一種最常用的工藝方式。其粉碎設(shè)備可分為以下3類：

1）沖擊式磨機(jī)，包括高速機(jī)械沖擊式磨機(jī)、氣流粉碎機(jī)；

2）介質(zhì)運(yùn)動(dòng)磨，包括球磨機(jī)、振動(dòng)磨、攪拌磨等；

3）膠體磨、雷蒙磨、高壓輥磨、離心磨等。

其中，氣流粉碎機(jī)、球磨機(jī)、振動(dòng)磨以及雷蒙磨在實(shí)踐證明：雖然球磨機(jī)、振動(dòng)磨、雷蒙磨在碳化硅粉砂生產(chǎn)中被廣泛采用，但是，由于碳化硅自身的磨料特性，使得這些磨機(jī)的易損件大量消耗的同時(shí)，產(chǎn)品中的鐵含量大幅度提高，以至于無(wú)法生產(chǎn)出具有相當(dāng)檔次的產(chǎn)品。

而氣流粉碎機(jī)已經(jīng)成為一種較為成熟的超細(xì)粉碎技術(shù)。它是利用高速氣流（300-500m/s）的能量使顆粒相互沖擊、碰撞和摩擦，從而使顆粒粉碎。高速氣流是通過(guò)安裝在磨機(jī)周邊的噴嘴將高壓空氣噴出后迅速膨脹來(lái)產(chǎn)生的，由于噴嘴附近速度梯度很高，因此，絕大多數(shù)得粉碎作用發(fā)生在噴嘴附近，顆粒和顆粒之間的碰撞頻率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于顆粒與器壁之間的碰撞頻率。

因?yàn)闅饬鞣鬯闄C(jī)的主要粉碎作用是顆粒之間的相互沖擊和碰撞，能在有效降低設(shè)備磨損的同時(shí)生產(chǎn)出高品質(zhì)的超細(xì)粉產(chǎn)品，所以其已經(jīng)成為最常用的超細(xì)粉碎設(shè)備之一產(chǎn)品細(xì)度一般可達(dá)1-5ρm，主要決定與氣流中的固體含量。其特點(diǎn)除產(chǎn)品細(xì)之外，還具有粒度分布狹窄，顆粒表面光滑，顆粒形狀規(guī)則，純度高，活性大分散性好等。

第三節(jié) 國(guó)內(nèi)外技術(shù)未來(lái)發(fā)展趨勢(shì) 分析

1、生產(chǎn)高度現(xiàn)代化

由于微電子工業(yè)對(duì)碳化硅超細(xì)粉體的純度、粒度和形狀的要求不斷提高，因此，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的無(wú)塵化及專用設(shè)備的開(kāi)發(fā)尤其重要，同時(shí)必須通過(guò)在線監(jiān)測(cè)與控制，以確保最終產(chǎn)品的高質(zhì)量和高穩(wěn)定性。

2.技術(shù)創(chuàng)新力度加快

由于高技術(shù)碳化硅超細(xì)粉體材料的特殊性和品種的多樣性，所以僅僅對(duì)傳統(tǒng)工藝與裝備的改良是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。隨著現(xiàn)代加工技術(shù)發(fā)展的日新月異，如處于科學(xué)前沿的等離子技術(shù)、射頻技術(shù)、超聲技術(shù)、真空技術(shù)以及光電技術(shù)等應(yīng)盡快加以融納采用。

3、技術(shù)的自主創(chuàng)新

現(xiàn)代工業(yè)進(jìn)入21世紀(jì)，隨著技術(shù)創(chuàng)新速度的加快，有部分產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到其極限。規(guī)?；⒌统杀?、高純度、多品種及功能化仍然是高技術(shù)碳化硅超細(xì)粉體的發(fā)展趨勢(shì)。除此之外，高技術(shù)碳化硅超細(xì)粉體的合成技術(shù)、智能化技術(shù)和微納米技術(shù)必將達(dá)到一個(gè)新的水平。所以，跨學(xué)科的創(chuàng)新力度必須不斷加大。
 

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