第一節(jié) 產(chǎn)品定義、性能及應(yīng)用特點(diǎn)
自動測試設(shè)備是一種通過計(jì)算機(jī)控制進(jìn)行器件、電路板和子系統(tǒng)等測試的設(shè)備。通過計(jì)算機(jī)編程取代人工勞動,自動化的完成測試序列。
自動測試設(shè)備可分為以下幾種類型：
1、數(shù)字測試系統(tǒng)—共享資源測試系統(tǒng),每個管腳有獨(dú)立測試資源的測試系統(tǒng)。用來特性化測試集成電路的邏輯功能。如科利登的SC312和Quartet。
2、線性器件測試系統(tǒng)—用來測試線性集成電路的測試系統(tǒng)。
3、模擬測試系統(tǒng)—用來特性化測試集成電路的模擬功能。如科利登的ASL系列。
4、存儲器測試系統(tǒng)—DRAM測試系統(tǒng),閃存測試系統(tǒng)。這些類型的自動化測試設(shè)備用于驗(yàn)證內(nèi)存芯片。如科利登的Personal Kalos和Kalos系列,Agilent 的Versatest系列, Advantest的T5593。
5、板測試系統(tǒng)—板測試是用來測試整塊印制電路板,而不是針對單個集成電路。如泰瑞達(dá)的1800。
6、混合信號測試系統(tǒng)—這種類型的系統(tǒng)資源用來測試集成電路的模擬及數(shù)字功能。如科利登的Quartet系列。
7、RF測試系統(tǒng)—用來測試射頻集成電路的測試。如科利登的ASL 3000RF和SZ-Falcon。
8、SOC測試系統(tǒng)—通常就是一個昂貴的混合信號集成電路測試系統(tǒng),用來測試超大規(guī)模集成電路（VLSI）芯片;并且這種超大規(guī)模集成電路（VLSI）芯片的集成度比傳統(tǒng)的混合信號芯片高得多。如科利登的Octet系列,Agilent的93000系列,Advantest的T6673。
第二節(jié) 自動測試設(shè)備 行業(yè) 發(fā)展歷程
自動測試設(shè)備在60年代早期始于快捷半導(dǎo)體（Fairchild）。那時Fairchild生產(chǎn)門電路器件（如14管腳雙列直插與非門IC）和簡單的模擬集成電路器件（如6管腳雙列直插運(yùn)算放大器）。當(dāng)時對于器件量產(chǎn)測試是一個很大的問題。 Fairchild開發(fā)了計(jì)算機(jī)控制的測試設(shè)備,如5000C用于簡單模擬器件測
試,Sentry 200用于簡單門電路器件測試。兩種機(jī)器都是由Fairchild自主開發(fā)的計(jì)算機(jī)FST2進(jìn)行控制。FST2是一種簡單的24位,10MHz計(jì)算機(jī)。
70年代早期,器件開發(fā)由小規(guī)模集成電路過渡到中規(guī)模集成電路,又于80年代早期從大規(guī)模集成電路過渡到超大規(guī)模集成電路。對于器件制造商來說,這時計(jì)算機(jī)控制的測試系統(tǒng)已經(jīng)成為主要的測試設(shè)備。Fairchild開發(fā)了Sentry 400, Sentry 600,Sentry7,Sentry8測試系統(tǒng)用于數(shù)字器件測試。
80年代中期,門陣列器件開發(fā)成功,測試方面要求達(dá)到256管腳,速度高于40MHz。針對這一需求,Fairchild試圖開發(fā)Sentry 50,但是失敗了。Fairchild將其ATE部門賣給斯倫貝謝,成為斯倫貝謝測試系統(tǒng)公司。Fairchild將測試系統(tǒng)賣給斯倫貝謝以后,許多專家離開了Fairchild加入Genrad,成立了Genrad西海岸系統(tǒng)公司。GR16和GR18數(shù)字測試系統(tǒng)由這里誕生了。這些新型的測試系統(tǒng)每個管腳有獨(dú)立的測試資源,管腳數(shù)最多達(dá)144。不久這些工程師離開Ganrad成立了Trillium測試系統(tǒng),并將其賣給LTX。之后這些工程師又離開了LTX,他們中的一些加入了科利登（Credence）,其它人加入了其他的ATE公司。
同一時期,泰瑞達(dá)的自動化測試設(shè)備在模擬測試和存儲器測試方面占據(jù)統(tǒng)治地位。90年代早期Intel開發(fā)成功高速、高管腳數(shù)的單片處理器單元（MPU）,隨之而來的是高速高管腳數(shù)的ATE。多媒體器件的出現(xiàn)使ATE變得更復(fù)雜,需要同時具有數(shù)字電路、模擬電路和存儲器電路的測試能力,SoC測試系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生。